蒸鍍的物(wù)理過(guò)程包括：沉(chén)積材(cái)料蒸(zhēng)發或升華(huá)爲氣态粒子→氣态粒子快(kuài)速從蒸發源向(xiàng)基片表面輸(shū)送→氣态(tài)粒子附着在基片表面形核(hé)、長(zhǎng)大成固(gù)體(tǐ)薄膜→薄膜原子(zǐ)重構(gòu)或産(chǎn)生(shēng)化學鍵(jiàn)合。
将(jiāng)基片放入(rù)真空室内，以(yǐ)電(diàn)阻、電子束、激(jī)光(guāng)等方法加(jiā)熱膜料，使(shǐ)膜(mó)料蒸(zhēng)發或升(shēng)華，氣化爲(wèi)具有(yǒu)一定能量(liàng)（0.1～0.3ev）的粒(lì)子（原子(zǐ)、分子或(huò)原子團）。氣(qì)态粒子以(yǐ)基本(běn)無碰(pèng)撞的直線運動飛速傳(chuán)送至基(jī)片，到達(dá)基(jī)片表(biǎo)面的粒子(zǐ)一部(bù)分(fèn)被反射(shè)，另一部分(fèn)吸(xī)附在基(jī)片上并發(fā)生表面擴散，沉(chén)積原(yuán)子之(zhī)間産生二(èr)維(wéi)碰(pèng)撞，形成簇(cù)團，有(yǒu)的可能在(zài)表面短時停留後又蒸(zhēng)發。
客服熱(rè)線：
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