蒸(zhēng)鍍的物理過程包(bāo)括：沉積材料蒸(zhēng)發或(huò)升華爲氣(qì)态粒子(zǐ)→氣态粒子快速從蒸發(fā)源向基片表面(miàn)輸送(sòng)→氣态粒子(zǐ)附着在(zài)基(jī)片表面形核(hé)、長(zhǎng)大成(chéng)固體薄膜(mó)→薄膜(mó)原子重構或産(chǎn)生化(huà)學鍵(jiàn)合。
将基片放入真空(kōng)室内(nèi)，以電阻、電子束(shù)、激光等方(fāng)法加熱膜料(liào)，使膜料(liào)蒸發或(huò)升(shēng)華，氣(qì)化爲具有一定(dìng)能量（0.1～0.3ev）的粒子(zǐ)（原(yuán)子、分子或原子(zǐ)團）。氣态粒子以(yǐ)基本(běn)無碰(pèng)撞的(de)直線運(yùn)動(dòng)飛速(sù)傳送至基(jī)片，到(dào)達基片表(biǎo)面的(de)粒子一(yī)部分被(bèi)反射，另(lìng)一部分吸附(fù)在基(jī)片上(shàng)并發生表面擴(kuò)散，沉(chén)積原子之(zhī)間産生(shēng)二(èr)維碰(pèng)撞，形成簇團，有(yǒu)的可(kě)能在表面短時停留後又(yòu)蒸發。
客(kè)服(fú)熱(rè)線：
/
一廠區(qū)：煙台市福(fú)山區魏山(shān)路55号
二廠區：煙(yān)台市(shì)開發區北京南路4号3号廠房
項(xiàng)目電(diàn)話：/
郵(yóu)箱：youshanshan@yoom.cc
 |  |
| 手(shǒu)機網(wǎng)站 | 微(wēi)信公(gōng)衆号 |
