蒸鍍(dù)的物(wù)理過程包括：沉積材料蒸(zhēng)發或升華爲氣态粒(lì)子→氣态粒(lì)子快速從蒸發(fā)源向基片表面(miàn)輸送→氣态(tài)粒子附着在(zài)基(jī)片表(biǎo)面形核、長(zhǎng)大成(chéng)固體薄膜→薄膜(mó)原子重構或産(chǎn)生(shēng)化學鍵合。
将(jiāng)基片放入真空(kōng)室内(nèi)，以電(diàn)阻、電子束、激光等方法加(jiā)熱膜料，使(shǐ)膜料(liào)蒸發(fā)或升(shēng)華，氣化爲具有(yǒu)一定(dìng)能量（0.1～0.3ev）的(de)粒子（原(yuán)子、分(fèn)子(zǐ)或原子(zǐ)團）。氣态(tài)粒(lì)子以(yǐ)基本(běn)無碰撞的(de)直線運動飛速(sù)傳送至基片，到(dào)達基(jī)片(piàn)表面的粒子一部(bù)分被反射，另一部分吸附在(zài)基(jī)片上并發生表面擴(kuò)散，沉積原子之(zhī)間(jiān)産生(shēng)二維碰(pèng)撞，形成簇(cù)團，有(yǒu)的可(kě)能在(zài)表面(miàn)短時(shí)停留後又(yòu)蒸發。
客服熱(rè)線：
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一廠區(qū)：煙台市福山區魏山(shān)路55号
二廠(chǎng)區(qū)：煙(yān)台市(shì)開發(fā)區北(běi)京(jīng)南(nán)路4号3号廠(chǎng)房
項目電(diàn)話：/
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