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 | 電話： |  | 地址(zhi)：煙台(tai)市福(fu)山區(qu)魏山路(lu)55号(hao) |
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蒸鍍(du)的物(wu)理(li)過(guo)程包括：沉(chen)積材(cai)料蒸(zheng)發或(huo)升華爲氣态粒(li)子→氣态粒(li)子快速(su)從(cong)蒸發(fa)源向基片表面(mian)輸送→氣态(tai)粒子(zi)附着在基片表(biao)面形核、長(zhang)大成(cheng)固體(ti)薄(bao)膜→薄膜(mo)原子(zi)重(zhong)構(gou)或産(chan)生化學鍵合。
将(jiang)基片(pian)放入(ru)真空室内(nei)，以電阻、電子束(shu)、激光等(deng)方(fang)法加(jia)熱膜(mo)料，使(shi)膜料(liao)蒸發(fa)或升華，氣(qi)化爲具有(you)一定能量(liang)（0.1～0.3eV）的粒子（原(yuan)子、分(fen)子(zi)或(huo)原子(zi)團）。氣(qi)态粒(li)子以(yi)基本無碰(peng)撞的直線(xian)運(yun)動飛速(su)傳送(song)至(zhi)基(ji)片，到(dao)達基(ji)片(pian)表面的(de)粒子一部分被(bei)反射(she)，另一(yi)部分(fen)吸附(fu)在基(ji)片上(shang)并發生表面擴(kuo)散，沉積原(yuan)子之(zhi)間産(chan)生(sheng)二維碰(peng)撞，形成(cheng)簇(cu)團，有(you)的可(ke)能在表面(mian)短時停(ting)留(liu)後又(you)蒸發(fa)。
客服熱(re)線：
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一廠區：煙台(tai)市福(fu)山(shan)區(qu)魏山(shan)路55号(hao)
二廠(chang)區：煙(yan)台市(shi)開發(fa)區北京南(nan)路4号(hao)3号廠房
項(xiang)目電(dian)話：/
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